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芯片充氮烤箱(型號:XHMOQ-2A)是由東莞市新鏵機械設備有限公司專為半導體、集成電路及精密電子元件研發的高端無氧化熱處理設備。該設備通過精確的氮氣置換系統,將爐內含氧量控制在0.5%以下,有效防止芯片在高溫烘烤過程中的氧化反應,確保產品良率與性能穩定性。是芯片封裝、晶圓測試、引線框架固化等工藝的理想選擇。
· 超低含氧量:采用智能電磁閥控制充氮,配合可調節流量計,確保爐內環境含氧量穩定低于0.5%,實現真正的無氧化烘烤。
· 全密封結構:內箱四周采用SUS430#不銹鋼氬焊密封工藝,杜絕外部空氣滲入,從源頭保障惰性氣體環境的純凈度。
· 智能PID算法:搭載宇電多段智慧溫度控制器,結合陽明SSR固態繼電器輸出,控溫精度極高,支持多段程序升溫。
· 卓越均勻性:頂部噴流式運風設計,熱風從上至兩側循環,空爐100℃恒溫20分鐘后,溫差控制在**±3%**以內,確保每層芯片受熱一致。
· 快速升溫:9.5KW總功率(加熱6KW),常溫升至180℃僅需約20分鐘,大幅提升生產節拍。
· 自動化流程:具備“放入產品→加熱→充氮→恒溫計時→完成報警”的全自動邏輯控制,減少人為操作失誤。
· 斷電記憶保護:特別加裝UPS不間斷電源,突發斷電時保護控制器數據不丟失,確保工藝連續性。
· 全方位安全防護:集成超溫報警、過流保護、短路保護、漏電斷路、相序保護及電源逆向防止器,符合國際安全標準。
· 便捷維護:電箱置于頂部,右側180°單開門設計,配合長柄型強力門鎖,檢修清潔更方便,開關門更輕松。
項目 | 參數規格 |
產品名稱 | 芯片充氮烤箱/無氧化烤箱 |
產品型號 | XHMOQ-2A |
制造廠商 | 東莞市新鏵機械設備有限公司 |
電源規格 | AC380V3Φ50HZ,總功率9.5KW(加熱6KW) |
溫度范圍 | 室溫~180℃(常用150℃) |
升溫速度 | 常溫→180℃≈20分鐘 |
溫度均勻度 | ±3%(空爐100℃恒溫20min后) |
含氧量指標 | <0.5% |
內箱尺寸 | W800×D550×H900mm |
外箱尺寸 | W1150×D800×H1650mm(含腳杯) |
內膽材質 | SUS430#不銹鋼,氬焊密封 |
外殼材質 | SS41#鋼板,防銹靜電高溫粉體涂裝(皺紋白) |
保溫系統 | 80mm高級保溫棉+空氣隔熱層 |
運風系統 | 臺灣升捷長軸專用馬達+強力多翼式鍍鋅風輪(頂部噴流式) |
充氮/排氣 | 電磁閥控制,?8mm進氣/排氣口,配可調流量計 |
控制系統 | 宇電多段智能溫控+PID自動演算+K型熱電偶+UPS斷電保護 |
內部配置 | 8層烤盤架(層高90mm),標配8個烤盤 |
移動固定 | 搬運腳輪+M20×L150mm水平調整螺絲腳 |
安全裝置 | 超溫警報、延時關機、過流/短路/漏電/相序/逆相保護等 |
本設備內置智能時序控制,操作流程如下:
1. 裝載啟動:放入產品,關閉箱門,設定溫度。
2. 加熱階段:加熱器工作,溫度上升。
3. 充氮置換:到達設定溫度后,系統自動開啟充氮電磁閥。
4. 恒溫計時:達到烘烤溫度且氮氣環境達標后,自動開始恒溫計時。
5. 完工報警:計時結束,自動切斷加熱,指示燈亮起并觸發蜂鳴器警報,提示作業完成。
· 半導體封裝:芯片固化、引線框架退火。
· 電子元器件:電感、電容、電阻的高溫老化測試。
· 光伏產業:太陽能電池片的熱處理。
· 新材料研發:對氧氣敏感的納米材料、金屬粉末的干燥與燒結。
東莞市新鏵機械設備有限公司深耕工業烘箱領域多年,深知芯片行業對“無氧化”和“溫度均勻性”的嚴苛要求。XHMOQ-2A芯片充氮烤箱不僅硬件配置豪華(臺灣馬達、宇電溫控、SUS430內膽),更在細節處(如UPS保護、氬焊密封)體現了我們對品質的極致追求。
專業定制,品質交付。我們為您提供從標準機型到非標定制的一站式熱處理解決方案。
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獲取詳細技術方案或預約試機,請聯系東莞市新鏵機械設備有限公司。
為您的芯片制程提供零氧化的完美環境!

| 獨特性能 | 客戶可選配置 |
內膽全不銹鋼氬弧焊滿焊,防止機臺自身產生灰塵;內部潔凈無塵; 雙重超溫保護,安全更可靠; 內部熱風循環,烘烤物件受熱均勻; 升溫時間快,溫度穩定精準; 國內一流的隔熱、斷熱、保溫技術,密封效果優; 機體外殼溫度低,對室內環境溫度影響較??; 多種加熱及運風方根據產品設定;節能省電、安全環保。 | 可充氮氣氣氛保護,達成無氧化烘烤環境。 控制系統、料盤、推車可依客戶需要選擇配備。 顏色選擇圖例
客戶可以依照色卡指定色彩制作。 |
| ※根據烘烤產品搭配不同料盤/臺車,材質有烤漆、電鍍彩鋅、不銹鋼等,尺寸、規格可非標訂制,歡迎來電咨詢。 | |
溫控選購配備
| 溫控器(單段/8段-256段可編程式) | |||
| 臺灣宇電溫控表 | ![]() | 日本歐姆龍智能型溫控表 | ![]() |
| 日本進口256段可編程式歐姆龍溫控儀 | ![]() | 日本OMRON溫控器 | ![]() |
| 溫度記錄儀 | |||
| 進口多通道彩屏無紙記錄儀 | ![]() | 進口多通道有紙記錄儀 | ![]() |
| 進口PARTLOW圓圖溫度記錄儀 | ![]() | 進口YOKOGAWA 48通道溫度記錄儀 | ![]() |
| 記錄組 | |||
| 手提式溫度記錄器組 6點 | ![]() | IR 電腦溫度記錄器組6點~12點 | ![]() |
| 計時器 30分,999分(標準配備),24H,99H,年月日可程式計時器。 | |||
| 電力輸出,可按照SSR、SCR、SSPR等電力自動調整器。 | |||
| 觸摸屏+PLC | |||
| 威倫7寸 | ![]() | Proface | ![]() |
| 三菱 | ![]() | 西門子 | ![]() |
| 工控機以太網遠程監控 | |||
![]() | |||
| 計時器 30分,999分(標準配備),24H,99H,年月日可程式計時器。 | |||
| 電力輸出 可安裝SSR、SCR、SSPR等電力自動調整器。 | |||
風路循環圖例
![]() | ![]() | ![]() | ![]() |
| 單面送風型 | 雙面送風型 | 雙面送風防爆 | 熱輻射上升型 |
![]() | ![]() | ![]() | ![]() |
| 四面輻射型 | 熱輻射照射型 | 熱風輻射型 | 熱風輻射型 |
料盤、推車選配項目
| 料盤形式 |
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| 沖孔盤 | 篩網盤 | 柵格盤 | |
| 活動推車 |
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| 烤架 | 烤箱推車+托盤 | 子母推車 |

